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產(chǎn)品中心詳情頁
庫侖型
庫侖型
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靜電卡盤ESC 庫侖型
靜電卡盤ESC 庫侖型
靜電卡盤ESC 庫侖型
主要特點(diǎn)

四大優(yōu)勢(shì):

  • 加工一致性高;
  • 抗等離子侵蝕性強(qiáng);
  • 機(jī)械強(qiáng)度高;
  • 可定制化。

資料手冊(cè)下載

Product Introduction

產(chǎn)品介紹

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  • 等離子刻蝕設(shè)備ETCH

  • 離子注入設(shè)備IMP

  • 物理氣相沉積設(shè)備PVD

  • 化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD

Structure

結(jié)構(gòu)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

CHARACTERISTIC

  • 通過內(nèi)置吸附電極將產(chǎn)品固定于靜電卡盤,以滿足加工需要;
  • 通過內(nèi)置加熱器控制產(chǎn)品溫度,多溫區(qū)組合控溫,保證加工一致性;
  • 使用高純度原料實(shí)現(xiàn)低顆粒污染,抗等離子體侵蝕性強(qiáng);
  • 高精度形狀加工,優(yōu)異的機(jī)械強(qiáng)度

Material Parameters

材料參數(shù)

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項(xiàng)目ltem Unit Alumina (Al2O3)

產(chǎn)品型號(hào) Product Model

/

AO960

AO995

AO920

外觀 Color

/

White

lvory

Black

密度 Bulk Density

g/cm

3.7

3.9

3.6

吸水率 Water Absorption

%

0

0

0

維氏硬度 Vickers Hardness HV1 (Load=9.807N)

(GPa)

13.7

16.0

12.7

彎曲強(qiáng)度 Flexural Strength (3PB) R.T.

MPa

350

360

320

彈性模量Young's Modulus of Elasticity

GPa

320

370

320

泊松比 Poisson's Ratio

/

0.23

0.23

0.23

斷裂韌性 Fracture Toughness (SEPB)

MPam

/

4

/

線膨脹系數(shù)

Coefficient of Linear Thermal Expansion

40℃~400℃

x10-6/℃

7.2

7.2

7.3

40℃~800℃

7.9

8.0

8.1

熱導(dǎo)率Thermal Conductivity 20℃

W/(m.K)

24

32

12

比熱容 Specific Heat Capacity

J/(g.k)

0.78

0.78

0.75

熱沖擊溫度 Heat Shock Temperature

200

250

/

擊穿強(qiáng)度 Dielectric Strength

KV/mm

15

15

12

體積電阻 Volume Resistivity

20℃

Ω.cm

>1014

>1014

>1011

300℃

>1010

>1013

>107

500℃

>108

>1010

>105

介電常數(shù) Dielectric Constant(1MHz)

/

9.4

9.9

9.8

介電損耗 Dielectric Loss Angle(1MH2)

x10-4

4

1

20

硝酸 Nitric Acid(60%) 90℃, 24H

WT Loss mg/cm2

/

0.07

/

硫酸 Sulphuric Acid(95%) 95°C, 24H

/

0.23

/

燒堿 Caustic Soda(30%) 80°C,24H

/

0.05

/

尺寸: 200、300 mm(可定制)

Size: 200,300 mm (Customizable)

項(xiàng)目ltem Unit Aluminum Nitride (AlN)

產(chǎn)品型號(hào) Product Model

/

AN160

AN80

外觀 Color

/

Gray

Ivory

密度 Bulk Density

g/cm

3.3

3.2

吸水率 Water Absorption

%

0

0

維氏硬度 Vickers Hardness HV1 (Load=9.807N)

(GPa)

10.4

11.2

彎曲強(qiáng)度 Flexural Strength (3PB) R.T.

MPa

310

220

彈性模量 Young's Modulus of Elasticity

GPa

320

310

泊松比 Poisson's Ratio

/

0.24

0.24

線膨脹系數(shù)

Coefficient of Linear Thermal Expansion

40℃~400℃

x10-6/℃

4.6

4.6

40℃~800℃

x10-6/℃

5.3

5.3

熱導(dǎo)率 Thermal Conductivity 20℃

W/(m.K)

150

70

比熱容 Specific Heat Capacity

J/(g.k)

0.71

0.72

擊穿強(qiáng)度 Dielectric Strength

KV/mm

14

16

 

體積電阻Volume Resistivity

 

20℃

 

Ω.cm

 

>1014

>1014

300℃

>1010 >1010

500℃

>108 >109

介電常數(shù) Dielectric Constant(1MHz)

/

8.6

8.5

介電損耗 Dielectric Loss Angle(1MH2)

x10-4

3

2

Electrical Parameters

電氣參數(shù)

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嘗試左右拖動(dòng)

項(xiàng)目ltem  

工作電壓 Operating Voltage Ranges

±0.5-8.0KV Max HV/DC

最大電流 Max. Current

5 mA DC max

體積電阻Volume Resistivity

Coulombs: ≥ 1x1014, Johnsen-Rahbek:5x1011

電容 Capacitance

≧12.5 nF

電極類型Electrode Pattern

單極型 Unipolar /雙極型Bipolar Electrode

漏電流 Leak Current @ATM

< 5 nA (At±500V)

釋放時(shí)間 Release Time

≤1Second