半導(dǎo)體設(shè)備的升級(jí)迭代，很大程度上有賴于精密零部件的關(guān)鍵技術(shù)突破。其中，靜電卡盤就是一個(gè)典型的細(xì)分零部件市場，其在半導(dǎo)體制造工藝的多個(gè)環(huán)節(jié)扮演著重要作用。在先進(jìn)的大規(guī)模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟，圓片需要在多達(dá)幾百種的工藝設(shè)備之間來回傳輸并進(jìn)行加工檢測。在加工過程中，圓片必須被十分平穩(wěn)、固定地安放在工藝設(shè)備上。目前全球靜電卡盤市場主要由日本和美國企業(yè)主導(dǎo)。靜電卡盤作為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)備中價(jià)值量占比相對(duì)較高的核心零部件，目前國產(chǎn)替代空間大。

 

靜電卡盤是什么

靜電卡盤ESC（Electrostatic Chuck），又稱靜電吸盤，是一種利用靜電吸附替代傳統(tǒng)機(jī)械夾持、真空吸附方式的優(yōu)勢技術(shù)，被稱為“半導(dǎo)體工藝固定晶圓的‘無形之手’”，在加工過程中起到重要作用。目前主要應(yīng)用于離子刻蝕ETCH、離子注入IMP、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣相沉積CVD。

 

靜電卡盤分類

靜電卡盤ESC（Electrostatic Chuck）可分為庫侖型和J-R型兩種。兩者的區(qū)別是對(duì)靜電卡盤施加高壓直流電時(shí)，庫侖型靜電卡盤的陶瓷介電層上表面會(huì)與被吸附產(chǎn)品間產(chǎn)生極性相反的極化電荷，從而形成靜電吸引力來實(shí)現(xiàn)吸附固定。而J-R型靜電卡盤則是在陶瓷介電層中帶電離子遷移并聚集在上表面，在靜電卡盤與被吸附產(chǎn)品間形成很強(qiáng)的電場，從而實(shí)現(xiàn)吸附固定。

 

 

靜電卡盤國內(nèi)廠商情況——廣東精瓷新材料有限公司

廣東精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研發(fā)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，專注于半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤ESC、精密陶瓷真空吸盤及氮化鋁陶瓷發(fā)熱體的研發(fā)制造。其設(shè)立有ESC專用測試設(shè)備、SEM、三坐標(biāo)、輪廓儀等多種測試設(shè)備的測試中心，具有氧化鋁、氮化鋁材質(zhì)的庫侖型、J-R型靜電卡盤ESC的研發(fā)和生產(chǎn)能力。同時(shí)，廣東精瓷在陶瓷真空吸盤上也有效解決了行業(yè)內(nèi)掉粉、掉顆粒和吸附力不均勻等痛點(diǎn)，可為半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體芯片制造提供關(guān)鍵部件的安全供應(yīng)。

 

廣東精瓷新材料有限公司的主要產(chǎn)品

廣東精瓷新材料有限公司具備年產(chǎn)2000套8寸、12寸氧化鋁&氮化鋁靜電卡盤，20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化鋁真空吸盤的生產(chǎn)能力。其主要產(chǎn)品如下：

1.靜電卡盤ESC

（1） 庫侖型靜電卡盤

▲ 12寸氧化鋁靜電卡盤

 

▲ 12寸復(fù)合型靜電卡盤

 

（2）J-R型靜電卡盤

 

2、陶瓷真空吸盤

 

3、氮化鋁陶瓷發(fā)熱體

 

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