廣東精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研發(fā)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，專注于半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤ESC、精密陶瓷真空吸盤及氮化鋁陶瓷發(fā)熱體的研發(fā)制造。其設(shè)立有ESC專用測(cè)試設(shè)備、SEM、三坐標(biāo)、輪廓儀等多種測(cè)試設(shè)備的測(cè)試中心，具有氧化鋁、氮化鋁材質(zhì)的庫侖型、J-R型靜電卡盤ESC的生產(chǎn)研發(fā)能力。同時(shí)，廣東精瓷在陶瓷真空吸盤上也有效解決了行業(yè)內(nèi)掉粉、掉顆粒和吸附力不均勻等痛點(diǎn)，為半導(dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體芯片制造提供關(guān)鍵部件的安全供應(yīng)。
廣東精瓷新材料有限公司具備年產(chǎn)2000套8寸、12寸氧化鋁&氮化鋁靜電卡盤，20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化鋁真空吸盤的生產(chǎn)能力。其主要產(chǎn)品如下：
1.靜電卡盤ESC
（1） 庫侖型靜電卡盤
▲ 12寸氧化鋁靜電卡盤
▲ 12寸復(fù)合型靜電卡盤
（2）J-R型靜電卡盤
2、陶瓷真空吸盤
3、氮化鋁陶瓷發(fā)熱體
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