半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)(CSEAC)是我國半導(dǎo)體行業(yè)專注“設(shè)備與核心部件”領(lǐng)域的展示會(huì),集企業(yè)展示、權(quán)威發(fā)布、論壇交流于一體,秉承“高水平、專業(yè)化、產(chǎn)業(yè)化” 的宗旨。CSEA2023在無錫成功舉辦,吸引了 6.3 萬人次觀眾進(jìn)場(chǎng)。CSEA為半導(dǎo)體設(shè)備/部件企業(yè)展示新產(chǎn)品、新成果、新發(fā)展景象提供平臺(tái), 幫助企業(yè)更有效地獲取行業(yè)信息、交流市場(chǎng)機(jī)遇、謀求合作與發(fā)展。
第 12 屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)(以下簡(jiǎn)稱“CSEAC 2024”)將在無錫太湖國際博覽會(huì)于2024年9月25日-27日舉行,屆時(shí)廣東精瓷新材材料有限公司也將前往參展,其展位號(hào)為9平標(biāo)攤C1-121,誠摯邀請(qǐng)閣下光臨我司展臺(tái),一起交流探討,合作共贏!
廣東精瓷有限公司脫胎于東莞國研精密半導(dǎo)體事業(yè)部,具有多年的HTCC研發(fā)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),專注于半導(dǎo)體用陶瓷靜電卡盤ESC、陶瓷真空吸盤以及氮化鋁發(fā)熱體。
靜電卡盤是一種利用靜電吸附替代傳統(tǒng)機(jī)械夾持、真空吸附的優(yōu)勢(shì)技術(shù),一般由陶瓷層、吸附電極、加熱器、粘結(jié)層和金屬基座組成,具有加工一致性高、機(jī)械強(qiáng)度高、抗等離子侵蝕性強(qiáng)、可定制化的特點(diǎn)。根據(jù)材料的不同,其可分為庫侖型和J-R型兩種。
陶瓷真空吸盤是利用真空吸附原理固定工件的承載平臺(tái),其結(jié)構(gòu)一般為多孔陶瓷加底座,具有平面度平行度高、組織致密均勻、強(qiáng)度高、透氣性強(qiáng)、吸附力均勻等特點(diǎn)。根據(jù)不同用途,可分為減薄吸盤、清洗吸盤、切割吸盤、劃片吸盤等。
氮化鋁陶瓷發(fā)熱體由于其材料氮化鋁是一種多功能材料,具有高熱導(dǎo)性、電絕緣性的獨(dú)特能力,使得由其作為材料做成的發(fā)熱體熱導(dǎo)率接近金屬鋁,并且具有升溫速度快、溫度均一性好、穩(wěn)定性佳、介電常數(shù)和介質(zhì)損耗優(yōu)良等特點(diǎn)。